物理系外延薄膜生长系统采购项目变更公告

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一、项目基本情况

原公告的采购项目编号:3324-DHNS2132H183(SZDL2021339808

原公告的采购项目名称:物理系外延薄膜生长系统采购项目

首次公告日期:2021年817

二、更正信息

更正事项:采购公告 R采购文件 □采购结果     

更正内容:

序号

货物名称

原招标技术要求

现招标技术要求

1

 

外延薄膜生长系统

(一)PLD腔室


▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥200W,样品加热温度≥1000°C以上,10Pa臭氧环境中可以加热≥850℃;10*10mm样品区域;

▲7.1配备激光加热装置,使用工业级红外激光器,功率≥200W,样品加热温度≥1000°C以上,10Pa臭氧环境中可以加热≥850℃;10mm*10mm样品区域;10mm x10mm大小样品的温度不均匀度2% (提供温度均匀性的测试数据);

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;

▲8.2.靶台可以公转(用于选靶),靶台可以自转,同时在X方向上线性扫描,公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下,使激光相对扫过整个靶材表面,从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变;(提供产品彩页)。

8.5. 靶台配有水冷;

8.5. 靶台配有水冷;(提供产品彩页)

(二)MBE腔室


▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥1000℃;低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温;

▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式,温度≥1000℃;低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温;(提供产品彩页)


更正日期:2021年826

三、其他补充事宜

1.采购文件如涉及上述内容的亦作相应修改,本通知与原采购文件矛盾之处,以本通知为准。

2.投标人有义务在采购活动期间浏览相关网站,在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。

3.招标文件已重新上传,请投标人重新下载修改后的招标文件并按照最新版招标文件制作投标文件加密并上传。

四、凡对本次公告内容提出询问,请按以下方式联系。

1.采购人信息

称:南方科技大学

地址:深圳市南山区西丽学苑大道1088号

联系方式:颜老师 0755-88018081

2.采购代理机构信息

   称:深圳市东海国际招标有限公司

   址:深圳市南山区留仙大道4168号众冠时代广场A座35楼3509号

联系方式:0755-86103786转802/806

3.项目联系方式

项目联系人:常工、

电   话:0755-86103786转802/806


深圳市东海国际招标有限公司

2021-08-26

购买标书
项目编号 3324-DHNS2132H183(SZDL2021339808) 项目名称 物理系外延薄膜生长系统采购项目变更公告
购买时间 开始时间:1970-01-01 -- 截止时间:1970-01-01
供应商企业名称
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