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一、项目基本情况
原公告的采购项目编号：3324-DHNS2132H183（SZDL2021339808）
原公告的采购项目名称：物理系外延薄膜生长系统采购项目
首次公告日期：2021年8月17日
二、更正信息
更正事项：□采购公告 R采购文件 □采购结果
更正内容：
序号 | 货物名称 | 原招标技术要求 | 现招标技术要求 |
1 |
外延薄膜生长系统 | （一）PLD腔室 | |
▲7.1配备激光加热装置，使用工业级红外激光器，功率≥200W，样品加热温度≥1000°C以上，10Pa臭氧环境中可以加热≥850℃；10*10mm样品区域； | ▲7.1配备激光加热装置，使用工业级红外激光器，功率≥200W，样品加热温度≥1000°C以上，10Pa臭氧环境中可以加热≥850℃；10mm*10mm样品区域；10mm x10mm大小样品的温度不均匀度 | ||
▲8.2.靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变； | ▲8.2.靶台可以公转（用于选靶），靶台可以自转，同时在X方向上线性扫描，公转、自转和扫描由步进马达驱动。靶台自转和线性扫描可以在激光束不动的情况下，使激光相对扫过整个靶材表面，从而保证激发出的等离子体羽辉位置、角度都不发生改变；（提供产品彩页）。 | ||
8.5. 靶台配有水冷； | 8.5. 靶台配有水冷；（提供产品彩页） | ||
（二）MBE腔室 | |||
▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式，温度≥1000℃；低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温； | ▲4.2.加热样品台采用辐射和电子束加热的方式，温度≥1000℃；低温样品台通过液氮实现80K-RT的变温；（提供产品彩页） |
更正日期：2021年8月26日
三、其他补充事宜
1.采购文件如涉及上述内容的亦作相应修改，本通知与原采购文件矛盾之处，以本通知为准。
2.投标人有义务在采购活动期间浏览相关网站，在网上公布的与本次采购项目有关的信息视为已送达各投标人。
3.招标文件已重新上传，请投标人重新下载修改后的招标文件，并按照最新版招标文件制作投标文件加密并上传。
四、凡对本次公告内容提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：南方科技大学
地址：深圳市南山区西丽学苑大道1088号
联系方式：颜老师 0755-88018081
2.采购代理机构信息
名 称：深圳市东海国际招标有限公司
地 址：深圳市南山区留仙大道4168号众冠时代广场A座35楼3509号
联系方式：0755-86103786转802/806
3.项目联系方式
项目联系人：常工、樊工
电 话：0755-86103786转802/806
深圳市东海国际招标有限公司
2021-08-26
